高周波誘導加熱装置の
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CASE

高周波装置導入例 用途一覧

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ウェハーの加熱装置
(3kw/50KHz)

特徴 ・回転機構付で、雰囲気中での加熱が可能です 。
・ワーク投入~ワーク取出しまで自動制御が可能です。